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針對(duì)半導(dǎo)體芯片制造、TFT-LCD制造、電子元件制造、印制電路板制造、電子終端產(chǎn)品制造等工藝中產(chǎn)生的各類廢氣，天得一深入研究并為其提供定制化的廢氣治理解決方案。這些廢氣主要源于生產(chǎn)過程中的多個(gè)工序，如薄膜沉積、光刻、刻蝕、清洗和涂覆等，包括CVD廢氣（含硅烷、氫氣、氨氣、含氟含磷廢氣等）、剝離液廢氣等在內(nèi)的特氣、酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣等。針對(duì)泛半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放特點(diǎn)，我們深入研發(fā)，為泛半導(dǎo)體行業(yè)提供高效、可靠的廢氣治理方案。